真空退火炉

真空退火炉广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。

真空退火炉技术指标：
1.1工作温度：300～1000℃（不锈钢真空室较高1000℃）
1.2真空度：优于5×10-3 Pa
1.3真空室直径：Φ150～300 mm
1.4恒温区长度：400～1000 mm
1.5控温精度：±1.0℃
1.6炉体移动速度：0～400 mm/min?
1.7较大充气压力：0.5 MPa（不锈钢真空室）
1.8安全连锁保护：**温、断偶、缺水、压力异常保护报警



可选配置：?
1.1工艺管数量：单、双、三工位
1.2真空腔室：石英管/不锈钢管
1.3泵：机械泵/机械泵＋分子泵
1.4进出舟模式：手动送片/自动送片
1.5适用工艺：烧结、封装、焊接、合金、退火等